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  • 半导体行业稳定增长 集成电路国产化需求强烈(4)

    【国内半导体设备进步明显多种设备已被批量采购】国内半导体设备厂商市场份额较低,具有广阔的发展空间。2016年中国前十强半导体设备供应商完成销售收入48.34亿元,同比增长28.5%,体量最大的中电科电子装备集团有限公司的销售收入仅为9.08亿元,远低于国际知名厂商,我国前十强企业占全球半导体设备的市场份额仅为2%左右。

    2017年全年国内半导体厂商销售额有望同比增长33%。根据中国电子专用设备工业协会对国内35家主要半导体设备制造商的统计,2017年1月至6月,半导体设备行业完成销售收入36.77亿元,同比增长27.6%,相当于去年全年半导体设备销售收入的64.1%。预计2017年全年主要半导体设备制造商销售收入将增长33%左右,达到76.5亿元左右。

    可喜的是,已有部分国产设备的市占率提升明显。目前,先进封装制程中的高端工艺设备、刻蚀机、PVD、光刻机、清洗机等关键设备已经基本实现国产化,产品性能达到国际先进水平。

    【多个骨干企业产品逐渐进入先进制程的生产线】目前,我国已经实现了12英寸国产装备从无到有的突破,总体水平达到28纳米,刻蚀机、离子注入机、PVD、CMP等16种关键装备产品通过大生产线验证考核并实现销售。光刻机样机研发成功并实现90纳米曝光分辨率,国产曝光系统与双工件台实现研发目标;65-45纳米工艺完成研发进入量产,28纳米工艺完成研发即将进入生产,20-14纳米工艺取得关键技术成果;集成电路封装多项技术接近国际先进水平;抛光剂、溅射靶材等关键材料被国内外生产线批量应用。以上这些成果显示,我国集成电路制造技术水平已经取得长足进步,进一步缩小了与国际先进水平的差距。

    国内半导体设备产业已主要形成3个产业集群。经过多年的发展,目前,国内已形成多个装备骨干企业,主要分布在辽宁、京津、上海区域。不同的制造商分别有各自的优势产品,如北方华创的刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉等均有良好效益。

    部分国产12英寸设备在生产线上实现批量应用。根据中国半导体行业协会半导体支撑业分会的报告,国内半导体设备行业技术水平近年来得到较大提升。在8英寸制造的主要关键设备方面,具备了供货能力,目前,刻蚀机、离子注入机、薄膜生长设备、氧化炉、LPCVD、退火炉、清洗机、单晶生长设备、CMP设备、封装设备等产品基本形成国内配套能力,技术水平基本可以满足用户要求。预计到2018年,将有40多种装备可以通过生产一线用户的考核,进入采购程序。

    部分应用于14nm的国产设备已经开始进入生产线,步入验证。目前国内已有9项装备步入14nm验证中,其中主要的厂商有北方华创(6项)、中微半导体(1项)、睿励科仪(1项)和上海盛美(1项)。

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